Fyzické ověření - Physical verification
Fyzické ověření je proces, při kterém uspořádání integrovaných obvodů Návrh (IC layout) je ověřován pomocí softwarových nástrojů EDA, aby byla zajištěna správná elektrická a logická funkčnost a vyrobitelnost. Ověření zahrnuje kontrola pravidla návrhu (DRC), rozložení versus schéma (LVS), XOR (exkluzivní OR), kontroly antény a kontrola elektrického pravidla (ERC).[1]
Kontrola pravidel návrhu (DRC)
DRC ověří, že rozložení splňuje všechna technologická omezení. DRC také ověřuje hustotu vrstev pro chemicko-mechanické leštění (CMP).[1]
Layout Versus Schematic (LVS)
LVS ověří funkčnost designu. Z rozložení je odvozen netlist a porovná se s původním netlistem vyrobeným z logická syntéza nebo návrh obvodu.[1]
XOR kontrola
Tato kontrola se obvykle provádí po otočení kovu, kde se porovnává původní a upravená databáze. Tímto se potvrzuje, že byly provedeny požadované úpravy a že k náhodným změnám nedošlo. Tento krok zahrnuje porovnání dvou databází rozložení / GDS pomocí operace XOR geometrií rozložení. Výsledkem této kontroly je databáze, která má všechny nesouladné geometrie v obou rozloženích.
Kontrola antény
Anténa je v podstatě kovové propojovací vedení, tj. Vodič jako polysilikon nebo kov, který není elektricky spojen s křemíkem nebo uzemněn, během kroků zpracování oplatky.[1] Během výrobního procesu může na anténě dojít k akumulaci náboje během určitých výrobních kroků, jako je plazmové leptání, které k leptání využívá vysoce ionizovanou hmotu. Pokud připojení k křemíku neexistuje, mohou se na propojovacím vedení hromadit náboje do bodu, ve kterém dochází k rychlému vybití, a trvalé fyzické poškození oxidu tenkého tranzistorového hradla. Tento rychlý a destruktivní jev je znám jako anténní efekt. Chyby antény lze vyléčit přidáním malé anténní diody pro bezpečné vybití uzlu nebo rozdělením antény nasměrováním nahoru na jinou kovovou vrstvu a opět dolů.[1]
Poměr antény je definován jako poměr mezi fyzickou oblastí vodičů tvořících anténu a celkovou oblastí oxidu brány, ke které je anténa elektricky připojena.
Kontrola elektrického pravidla (ERC)
ERC ověří správnost připojení napájení a země a že časy přechodu signálu (zabití), kapacitní zátěže a fanouty jsou odpovídajícím způsobem omezeny.[1] To může zahrnovat kontrolu
- Plochy jamek a substrátů pro správné kontakty a rozteče zajišťují správné připojení napájení a uzemnění
- Nepřipojené vstupy nebo zkratované výstupy.
Brány by se neměly připojovat přímo k napájení; připojení by mělo probíhat pouze přes buňky TIE vysoké / nízké. Kontroly ERC jsou založeny na předpokladech o normálních provozních podmínkách ASIC, takže mohou poskytnout mnoho falešných varování na ASIC s více nebo zápornými zásobami. Mohou také zkontrolovat struktury náchylné k elektrostatický výboj (ESD) poškození.
Reference
Další čtení
- Clein, D. (2000). Rozložení IC CMOS. Noví. ISBN 0-7506-7194-7
- Kahng, A. (2011). Fyzický design VLSI: Od rozdělení grafů po uzavření časování, ISBN 978-90-481-9590-9, doi:10.1007/978-90-481-9591-6